产业设备事业本部

考虑环境

Clean World High Technology

产业设备事业本部

FAN FILTER UNIT

概要

FFU System作为将规格化的组合自由设置在天花板上的构造,目前适用于国内外最高级的超级清洁室. 此外,在制造生产线的部分在保持清洁度方面也非常有用.

  • 与维持高清净程度相比,设备费及运转费更低廉.
  • 根据制造设备的LAY-OUT所带来的柔软性更好.
  • 各种清净度区划均可自由 LAY-OUT.
  • 可在不停止作业下更换制造装置.

设备规格

ITEM FAN FILTER UNIT
SPECIFICATION REMARK
Power Supply AC-1∅ x 220V x 66Hz INVERTER CONTROL
Dimension 572mm x 1172mm x 315mm W/O FILTER
Velocity 0.4m/s Over
Sound Level 54dB(A)
Vibration Level 5µm Within
Power Consumption 250W MAX
Filter ULPA & HEPA FILTER
External Pressure 9mmAq
Weight 30Kg W/FILTER