考虑环境
将供应给Cassette的Glass安装在Up/Down Stage后,利用Robot将Glass以1张为单位提供给Carrier Station, 提供给Glass的薄膜工程(Sputtering Process)设备, 采集增压的Glass的Handling System
项目 | 规格 |
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设备规格 | 客户 规格 |
Glass 规格 | 客户 规格 |
Tact Time | 客户 规格 |
基本 Unit | Turn Drive -Servo Motor+精密减速器 Align -Table Cylinder Glass 安置+Support 材质 - Peek |
电源 | 3¢, AC220V±10%, 60㎐, 1种接地 |
气压 & 静电器 | CDA 5㎏/㎠/±0.1㎸ 以下 |
清净度 | Class 100 |
控制 System | PC & PLC & CIM |
项目 | 规格 |
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基本 Unit |
基本 规格 : 旋转型 Carrier Station
旋转 Index motor
1) Maker : Weiss 2) Model : TC700-T 3) ) 旋转动作时反复误差精密度 : ± 0.3mm Carrier Roller 1) Roller 材质 : STS304 2) Roller 形状 : U-Type 3) Carrier 停止误差精密度 : ±1mm 4) 移送速度 : 400mm/sec 이상 5) 驱动 Motor : Servo motor Top Guide 1) Carrier Top Guide : Magnet 方式 2) Magnet & Carrier Gap : 左,右5mm以上 3)调整Carrier位置 - 左,右传感器 (Carrier 位置排序) - 中央传感器( Carrier 调节速度) |