系统事业本部

考虑环境

Clean World High Technology

ITO Sputter Glass Handling System

概要

将供应给Cassette的Glass安装在Up/Down Stage后,利用Robot将Glass以1张为单位提供给Carrier Station, 提供给Glass的薄膜工程(Sputtering Process)设备, 采集增压的Glass的Handling System

设备构成

设备规格

项目 规格
设备规格 客户 规格
Glass 规格 客户 规格
Tact Time 客户 规格
基本 Unit Turn Drive -Servo Motor+精密减速器 Align -Table Cylinder Glass 安置+Support 材质 - Peek
电源 3¢, AC220V±10%, 60㎐, 1种接地
气压 & 静电器 CDA 5㎏/㎠/±0.1㎸ 以下
清净度 Class 100
控制 System PC & PLC & CIM

设备构成

设备规格

项目 规格
基本 Unit 基本 规格 : 旋转型 Carrier Station 旋转 Index motor 1) Maker : Weiss
2) Model : TC700-T
3) ) 旋转动作时反复误差精密度 : ± 0.3mm
Carrier Roller 1) Roller 材质 : STS304
2) Roller 形状 : U-Type
3) Carrier 停止误差精密度 : ±1mm
4) 移送速度 : 400mm/sec 이상
5) 驱动 Motor : Servo motor
Top Guide 1) Carrier Top Guide : Magnet 方式
2) Magnet & Carrier Gap : 左,右5mm以上
3)调整Carrier位置
- 左,右传感器 (Carrier 位置排序)
- 中央传感器( Carrier 调节速度)