考虑环境
空气中不仅有浮游的粒子,还有温度,湿度,潮度,气流,气压等, 指按要求受环境控制的封闭的特殊环境区域。
ICR应用最多的领域是IC,VLSI,作为代表性的半导体产业,最近在新材料,化学等应用领域呈现出逐渐扩大的趋势.
采用将小型循环Fan Unit与ULPA或 HEPA Filter组合的多数FFU设置在天花板上, 是循环清洁空气的方式.
CLEAN BOOTH上部内置FFU,用P.C PANEL围住,是可以移动的构造物.