产业设备事业本部

考虑环境

Clean World High Technology

产业设备事业本部

INDUSTRIAL

定义

空气中不仅有浮游的粒子,还有温度,湿度,潮度,气流,气压等, 指按要求受环境控制的封闭的特殊环境区域。

I.C.R (INDUSTRIAL CLEAN ROOM)

ICR应用最多的领域是IC,VLSI,作为代表性的半导体产业,最近在新材料,化学等应用领域呈现出逐渐扩大的趋势.

FFU(FAN FILTER UNIT)SYSTEM

采用将小型循环Fan Unit与ULPA或 HEPA Filter组合的多数FFU设置在天花板上, 是循环清洁空气的方式.

CLEAN BOOTH SYSTEM

CLEAN BOOTH上部内置FFU,用P.C PANEL围住,是可以移动的构造物.